激光氣體分析儀測量技術(shù)說(shuō)明
調制光譜檢測技術(shù)
調制光譜檢測技術(shù)是一種被*廣泛應用的可以獲得較高檢測靈敏度的TDLAS技術(shù)。它通過(guò)快速調制激光頻率使其掃過(guò)被測氣體吸收譜線(xiàn)的定頻率范圍，然后采用相敏檢測技術(shù)測量
被氣體吸收后透射譜線(xiàn)中的諧波分量來(lái)分析氣體的吸收情況。
調制類(lèi)方案有外調制和內調制兩種，激光氣體分析儀外調制方案通過(guò)在半導體激光器外使用電光調制器等來(lái)實(shí)現激光頻率的調制，內調制方案則通過(guò)直接改變半導體激光器的注入工作電流來(lái)實(shí)現激光頻率的調制。由于使用的方便性，內調制方案得到更為廣泛的應用，下面簡(jiǎn)單描述其測量原理。
在激光頻率掃描過(guò)氣體吸收譜線(xiàn)的同時(shí)，激光氣體分析儀以一較高頻率正弦調制激光工作電流來(lái)調制激光頻率，瞬時(shí)激光頻率可表示為式中，（t）表示激光頻率的低頻掃描；a是正弦調制產(chǎn)生的頻率變化幅度；w為正弦調制頻率。透射光強可以被表達為下述Fourier級數的形式。
諧波分量可以使用相敏探測器（PSD）來(lái)檢測。調制光譜技術(shù)通過(guò)高頻調制來(lái)顯著(zhù)降低激光光器噪聲（1/f噪聲）對測量的影響，同時(shí)可以通過(guò)給PSD設置較大的時(shí)間常數來(lái)獲得很窄帶寬的帶通濾波器，從而有效壓縮噪聲帶寬。因此，調制光譜技術(shù)可以獲得較好的檢測靈敏度。
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